案例介绍

半导体制造过程中产生的废水含有多种复杂成分，需通过蒸发浓缩处理。半导体企业采用电加热导热油炉为蒸发器提供热源，处理高浓度废水。

蒸发器需将废水加热至120℃实现水分蒸发，剩余浓缩废液便于后续处置。由于半导体生产连续性要求高，任何温度波动都可能影响废水处理效率，甚至导致产线停滞，因此对热源稳定性要求苛刻。

控温对象为蒸发器夹套内的导热油，要求油温稳定在120℃，系统需实时监控温度、压力及流量参数，同时需支持远程监控和异常报警功能。

解决方案采用两台280KW电加热导热油炉，一用一备，通过PLC集成控制，实时调节加热功率，确保油温波动在允许范围内。系统配备多级安全保护，包括超温自动断电、压力异常报警等。