半导体废水蒸发处理280kw电加热导热油炉「欧能机械」

案例介绍

某半导体制造企业，在其晶圆生产过程中会产生含有高纯度化学物质的废水。此类废水成分复杂、处理标准极其严苛，必须通过稳定的高温蒸发工艺进行浓缩和处理，以实现环保达标和资源回收。

客户采用多效蒸发器作为核心处理设备，其工艺对热源系统提出了要求：

• 极高的可靠性：半导体生产线是24小时连续运转，任何中断都会导致巨大的经济损失。废水处理作为关键辅助设施，其热源系统必须可靠，零意外停机。
• 稳定的高温供应：需要将导热油加热至120℃左右，为蒸发器提供持续、稳定的热量，确保废水蒸发过程的连续性和效率。
• 过程控制：温度、压力的稳定性直接影响蒸发效率和浓缩物的品质，需要监控与控制。
• 高度的自动化与远程监控：设备需集成到厂区的中央控制系统中，实现无人值守、远程操作和故障预警，以满足半导体工厂智能化管理的要求。

针对半导体行业对“高可靠性”和“高纯度”的追求，我们为客户提供了一用一备双机系统的280kW电加热导热油炉解决方案：

1、一用一备，打造不间断的热源中心：
方案核心是配置两台完全独立的280kW电加热导热油炉。一台处于运行状态，另一台作为热备份。
当运行中的设备出现任何预警或故障时，控制系统可自动或手动无扰切换至备用机组，确保蒸发器热源零中断，满足了半导体生产7x24小时连续运行的苛刻要求，为客户的生产连续性提供了保障。
2、大功率加热，满足持续蒸发需求：
单台280kW的大功率设计，为蒸发器提供充足且稳定的热量，确保废水蒸发量达到设计指标，处理能力强劲。
3、智能PLC控制系统，实现远程管理：
以工业级PLC为核心控制器，配合触摸屏，构建了监控系统：
多参数监控：实时高精度监测导热油系统的温度、压力、流量以及设备运行状态，形成闭环控制，确保系统在120℃工况下稳定运行。
远程互联：支持以太网通讯，接入客户厂区DCS或SCADA系统。工程师可在中央控制室远程启停设备、设定温度、查看所有运行参数和历史曲线。
报警与保护：系统具备完善的连锁保护功能（如超温、低压、缺媒、过载等）。一旦出现异常，立即发出声光报警并记录事件，同时可触发备用机组启动，并发送信息至管理人员手机，实现预测性维护。
4、高品质组件，确保长期稳定运行：
采用高品质电加热管、高温循环油泵及控制阀件，设计选型留有充足余量，确保单台设备在长期连续运行下的耐用性和稳定性，从源头上降低故障率。    

本案例充分证明，我们的电加热导热油炉解决方案，不仅仅是提供热量，更是为半导体这类对可靠性有要求的行业，提供了一套具备高可用性和智能管理功能的热源系统。其一用一备的冗余设计、大功率稳定输出、以PLC为核心的智能控制理念，深度契合了半导体工业的核心需求，为客户的关键辅助设施提供了坚实、可靠、现代化的基础保障，成为了客户智能化工厂中不可或缺的可靠一环。